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準分子預(yù)混氣的使用

可分為：硅系、shen系、磷系、硼系、金屬氫化物、鹵化物和金屬烴化物七類。針對腐蝕性、毒性、燃燒性的氣體，通常設(shè)計將鋼瓶置于特氣柜內(nèi)，再通過管道將氣體供應(yīng)至現(xiàn)場附近的閥門箱，而后再進入制程機臺的使用點，于進入機臺腔體之前，會有獨立的氣體控制盤與制程控制模塊聯(lián)機，以質(zhì)流流量計控制器進行流量之控制與進氣的混合比例控制。氣體房和氣柜還須有自動噴淋系統(tǒng)，但有的氣體如三氟化氯，硅1烷遇水反應(yīng)，這時就還需要考慮采用二氧化碳滅火系統(tǒng)。

Ne用途之Ne的低溫工程應(yīng)用

為了能夠把大空間快速抽成真空狀態(tài)，經(jīng)常使用液Ne低溫泵，若真空要求不高，也可以采用液Ne低溫泵。用Ne做介質(zhì)制成的封閉循環(huán)式微型制冷機，準分子預(yù)混氣廠商，可被用于導1彈的紅外檢測器。在高能粒子檢測和研究用的氣泡室中經(jīng)常使用液Ne。在美國，哪里有準分子預(yù)混氣，Ne主要用于氣泡室，且一次性需求量很大。此外，液體Ne還被用于對自由基的研究。隨著科學技術(shù)的不斷發(fā)展，液體Ne作為25-40K的低溫冷卻劑將日益受到重視。

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準分子預(yù)混氣吹掃時間根據(jù)氣體品質(zhì)不同要求確定，直到測試純度合格為止。非氮氣管道，濟南準分子預(yù)混氣，用氮氣吹掃合格后進行置換，準分子預(yù)混氣價格，然后再次吹掃，直至置換后的氣體達到純度要求為止。根據(jù)氣體工藝要求應(yīng)做各種測試，包括管道系統(tǒng)總體對外泄漏試驗、總體對內(nèi)泄漏試驗、顆粒物、露1點、含氧量測試氦檢泄漏試驗等。管道經(jīng)測試合格后管內(nèi)通入高純氮氣進行保護。

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